Yarimo'tkazgichli gaz filtrlari:
Chip ishlab chiqarishda gazning benuqson tozaligini ta'minlash
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning murakkab dunyosida, aniqlik va tozalik birinchi o'rinda turadi.
ishlatiladigan gazlar jarayonning muvaffaqiyatini aniqlashda hal qiluvchi rol o'ynaydi. Nopokliklar, hatto cheksiz darajada,
mikrochiplarning nozik sxemasiga putur yetkazishi, ularni nuqsonli va yaroqsiz holga keltirishi mumkin. Himoya qilish uchun
Ushbu muhim jarayonda yarimo'tkazgichli gaz filtrlari ifloslantiruvchi moddalarni sinchkovlik bilan olib tashlaydigan chidamsiz qo'riqchi bo'lib turadi.
va ishlab chiqarish liniyalari orqali oqadigan gazlarning toza sifatini ta'minlash.
Sinterlangan metall filtrlarning ko'plab ajoyib xususiyatlari va afzalliklari mavjud
1. Eng zamonaviy toza xona muhitida ishlab chiqarilgan
Ushbu filtrlar har qanday potentsial ifloslanishni minimallashtirish uchun mukammal sharoitlar sinchkovlik bilan ta'minlangan eng zamonaviy toza xonada tug'iladi. Ular tozalangan havo atmosferasida nozik payvandlashdan boshlab, qattiq ishlab chiqarish jarayonidan o'tadilar. Keyinchalik deionizatsiyalangan suvni yuvish, so'ngra yuqori bosimli, filtrlangan azotni tozalash har qanday qotib qolgan zarralarni yo'q qiladi va zarrachalarning to'kilishi xavfini kamaytiradi.
2. Zarrachalarni olib tashlashning ajoyib samaradorligi
0,003 mkm zarrachalar uchun 9 LRV filtrlashning ajoyib samaradorligi bilan, SEMI F38 va ISO 12500 sinov usullari bilan o'rnatilgan qat'iy standartlarga rioya qilgan holda, ushbu filtrlar korroziyadan hosil bo'lgan zarralar va harakatlanuvchi qismlardan hosil bo'lgan zarrachalarni samarali ravishda olib tashlaydi va toza tozaligini ta'minlaydi. gazlar.
3. Yuqori mexanik kuch
Ko'pincha yuqori gaz bosimidan foydalanadigan talab qilinadigan ishlab chiqarish jarayonlari va muhitlarda ajoyib chidamlilikni kafolatlash uchun qattiq sinovdan o'tgan ushbu filtrlar butun umr davomida o'zgarmas ishlashni ta'minlaydi.
4. Sanoatning eng yuqori standartlaridan oshib ketish
Yarimo'tkazgichlarni qayta ishlash uchun qattiq gazni qayta ishlash filtrlash talablaridan ustun bo'lgan ushbu filtrlar yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda gaz etkazib berish tizimlari tomonidan talab qilinadigan muhim filtrlash samaradorligi, aniq oqim nazorati va xavfsizlik standartlariga javob berishini kafolatlash uchun qattiq sinovdan o'tadi.
5. Xavfsizlikka sodiqlik
Yonuvchan, korroziy, zaharli va piroforik texnologik gazlar ta'siridan himoya qilish uchun filtr korpuslari sekundiga 1x10-9 atm scc dan kam oqish tezligiga erishish uchun sinchkovlik bilan sinovdan o'tkaziladi. Xavfsizlikka qat'iy rioya qilish xavfli gazlarning saqlanishini va zarar etkazishining oldini olishni ta'minlaydi.
6. Chipmaking mukammalligi uchun murosasiz soflik
Ushbu gaz filtrlari o'zlarining ajoyib filtrlash qobiliyatlari, xavfsizlikka sodiqliklari va eng yuqori sanoat standartlariga rioya qilishlari orqali yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishning murakkab jarayonini himoya qilishda muhim rol o'ynaydi. Ular poklik posbonlari bo‘lib, ishlab chiqarish liniyalari orqali faqat eng toza gazlar oqib o‘tishini ta’minlab, zamonaviy dunyomizga quvvat beradigan yuqori samarali mikrochiplarni yaratishga zamin yaratadi.
Yarimo'tkazgichli filtrlarning turlari
Yarimo'tkazgichli filtrlar turli xil ilovalarda qo'llaniladi, jumladan:
* Elektronika ishlab chiqarish:
Yarimo'tkazgichli filtrlar o'ta toza suvdan, gazlardan va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda ishlatiladigan kimyoviy moddalardan zarralarni olib tashlash uchun ishlatiladi.
* Kimyoviy mexanik planarizatsiya (CMP):
Yarimo'tkazgichli filtrlar yarimo'tkazgichli gofretlarni parlatish uchun ishlatiladigan CMP shlamlaridagi zarralarni olib tashlash uchun ishlatiladi.
* Biotibbiyot:
Yarimo'tkazgichli filtrlar tibbiy diagnostika va davolashda ishlatiladigan suyuqliklardan zarrachalarni olib tashlash uchun ishlatiladi.
* Atrof-muhit:
Yarimo'tkazgichli filtrlar havo va suvdan zarralarni olib tashlash uchun ishlatiladi.
Yarimo'tkazgichli filtrlarning to'rtta asosiy turi mavjud:
1. Membran filtrlari:
Membran filtrlari nozik, g'ovakli plyonkadan iborat bo'lib, zarrachalarni ushlab turganda suyuqlik o'tishiga imkon beradi.
2. Chuqurlik filtrlari:
Chuqurlik filtrlari zarrachalarni filtrdan oqib o'tayotganda ushlab turadigan qalin, burilishli materialdan yasalgan.
3. Adsorbent filtrlari:
Adsorbent filtrlari zarrachalarni o'ziga tortadigan va ushlab turadigan materialdan tayyorlanadi.
4. Sinterlangan metall filtrlar
Sinterlangan metall filtrlar yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda keng qo'llaniladigan chuqurlik filtrining bir turidir. Ular nozik metall kukunini g'ovakli tuzilishga sinterlash orqali amalga oshiriladi. Sinterlangan metall filtrlar yuqori chidamliligi, yuqori filtrlash samaradorligi va yuqori harorat va bosimga bardosh berish qobiliyati bilan mashhur.
Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish uchun sinterlangan metall filtrlarning afzalliklari:
* Yuqori chidamlilik:
* Yuqori filtrlash samaradorligi:
* Uzoq umr:
* Kimyoviy muvofiqligi:
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda sinterlangan metall filtrlarning qo'llanilishi:
* Gazni tozalash:
Sinterlangan metall filtrlar yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonining muhim qismi bo'lib, yuqori sifatli yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarishni ta'minlashga yordam beradi.
Muayyan dasturda ishlatiladigan yarimo'tkazgichli filtrning turi olinadigan zarrachalarning o'lchamiga, filtrlanadigan suyuqlik turiga va filtrlashning kerakli darajasiga bog'liq.
Quyida yarimo'tkazgich filtrlarining har xil turlarini jamlagan jadval keltirilgan:
Filtr turi | Tavsif | Ilovalar | Rasm |
---|---|---|---|
Membran filtrlari | Zarrachalarni ushlab turganda suyuqlikning o'tishiga imkon beruvchi nozik, gözenekli plyonkadan qilingan. | Elektron ishlab chiqarish, CMP, biomedikal, atrof-muhit | |
Chuqurlik filtrlari | Filtrdan oqib o‘tayotgan zarrachalarni ushlab turuvchi qalin, burilishli materialdan qilingan. | CMP, biotibbiyot, ekologik | |
Adsorbent filtrlari | Zarrachalarni o'ziga tortadigan va ushlab turuvchi materialdan qilingan. | Elektron ishlab chiqarish, CMP, biomedikal, atrof-muhit | |
Sinterlangan metall filtrlar | Nozik metall kukunini g'ovakli tuzilishga sinterlash orqali qilingan. | Gazni tozalash, kimyoviy filtrlash, ultra toza suv filtrlash, CMP atala filtrlash | Yarimo'tkazgich uchun sinterlangan metall filtrlar |
Ilova
Sinterlangan metall yarimo'tkazgichli gaz filtrlari yarimo'tkazgich sanoatida turli xil ilovalarda keng qo'llaniladi. Ularning yuqori filtrlash samaradorligi, chidamliligi va yuqori harorat va bosimlarga bardosh berish qobiliyati kabi noyob xususiyatlari ularni yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda gaz etkazib berish tizimlarining muhim tarkibiy qismiga aylantiradi.
Bu erda sinterlangan metall yarim o'tkazgichli gaz filtrlarining o'ziga xos ilovalari keltirilgan:
1. Gofret ishlab chiqarish:
Sinterlangan metall filtrlar gofret ishlab chiqarishda ishlatiladigan azot, vodorod va kislorod kabi gazlarni tozalash uchun ishlatiladi. Bu gazlar epitaksial o'sish, etching va doping kabi jarayonlar uchun zarurdir.
2. Kimyoviy filtrlash:
Sinterlangan metall filtrlar kislotalar, asoslar va erituvchilar kabi yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda ishlatiladigan kimyoviy moddalarni filtrlash uchun ishlatiladi. Ushbu kimyoviy moddalar turli maqsadlarda, jumladan, tozalash, qirqish va parlatish uchun ishlatiladi.
3. Juda toza suv filtrlash:
Sinterlangan metall filtrlar yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda ishlatiladigan ultra toza suvni (UPW) filtrlash uchun ishlatiladi. UPW gofretlarni tozalash va yuvish, shuningdek kimyoviy moddalarni tayyorlash uchun zarurdir.
4. CMP atala filtrlash:
Sinterlangan metall filtrlar CMP shlamlarini filtrlash uchun ishlatiladi, ular yarimo'tkazgichli gofretlarni parlatish uchun ishlatiladi. CMP mikrochiplarni ishlab chiqarishda muhim jarayondir.
5. Foydalanish nuqtasi (POU) filtrlash:
Sinterlangan metall filtrlar ko'pincha POU filtrlari sifatida ishlatiladi, ular filtrlashning eng yuqori darajasini ta'minlash uchun to'g'ridan-to'g'ri foydalanish joyiga o'rnatiladi. POU filtrlari mikroprotsessorlar va boshqa yuqori unumdor qurilmalarni ishlab chiqarish kabi gazning tozaligi juda muhim bo'lgan ilovalar uchun ayniqsa muhimdir.
6. Yuqori toza gaz bilan ishlash:
Sinterlangan metall filtrlar yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda ishlatiladigan gazlardan ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlash uchun yuqori toza gazni qayta ishlash tizimlarida qo'llaniladi. Bu ifloslantiruvchi moddalar zarrachalar, namlik va organik birikmalarni o'z ichiga olishi mumkin.
7. Mikroelektronika ishlab chiqarish:
Sinterlangan metall filtrlar kompyuterlar, planshetlar, mobil telefonlar, IoT sensorlari va boshqaruv qurilmalari kabi mikroelektronika ishlab chiqarishda qo'llaniladi.
8. Mikroelektromexanik tizimlar (MEMS) filtrlash:
Sinterlangan metall filtrlar MEMS filtrlashda qo'llaniladi, bu mikroelektromexanik tizimlardan ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlash jarayonidir. MEMS turli xil ilovalarda, jumladan sensorlar, aktuatorlar va transduserlarda qo'llaniladi.
9. Ma'lumotlarni saqlash qurilmasi filtrlash:
Sinterlangan metall filtrlar ma'lumotlarni saqlash moslamalarini filtrlashda qo'llaniladi, bu qattiq disklar va qattiq disklar kabi ma'lumotlarni saqlash qurilmalaridan ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlash jarayonidir.
Ushbu o'ziga xos ilovalarga qo'shimcha ravishda, sinterlangan metall yarimo'tkazgichli gaz filtrlari yarimo'tkazgich sanoatida boshqa turli xil ilovalarda ham qo'llaniladi. Ularning ko'p qirraliligi va ishonchliligi ularni yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilari uchun muhim vositaga aylantiradi.
Yuqori sifatli sinterlangan metall yarimo'tkazgichli gaz filtrlarini qidiryapsizmi?
HENGKO yarimo'tkazgich ishlab chiqarish tizimlarida OEM yechimlari bo'yicha sizning asosiy hamkoringizdir.
Bizning nozik muhandislik filtrlarimiz sizning jarayonlaringizda ishonchlilik va samaradorlikni ta'minlaydi va sizga raqobatbardosh bozorda ustunlikni taklif qiladi.
Nima uchun HENGKO filtrlarini tanlaysiz?
* Yuqori sifat va chidamlilik
* Maxsus ehtiyojlaringizga moslashtirilgan yechimlar
* Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish uchun yaxshilangan ishlash
Filtrlash muammolari ishlab chiqarishni to'xtatib qo'yishiga yo'l qo'ymang.
Sinterlangan metall filtrlarimiz ishlab chiqarish tizimingizni qanday inqilob qilishi mumkinligini bilish uchun bugun biz bilan bog'laning.
Biz bilan bog'laningka@hengko.com
HENGKO bilan hamkorlik qiling va yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda mukammallikka qadam qo'ying!